電子氣體為氣體工業名詞，半導體工業使用的氣體統稱電子氣體，也叫電子特氣。按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級、大規模集成電路級、超大規模集成電路級、特大規模集成電路級這四類。
現如今，半導體材料已成為二十一世紀信息社會和大數據時代高新技術產業的基礎材料，它的發展對高速計算、大容量信息通信、存儲、處理、電子對抗、武器裝備的小型化和智能化，甚至對國民經濟的發展和國家安全等都具有非常重要的意義。電子氣體是超大規模集成電路、平面顯示器件，化合物半導體器件，太陽能電池，光纖等電子工業生產不可缺少的原材料，它們廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。被稱為電子工業的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性
半導體
半導體工藝
例如在目前工藝技術較為先進的超大規模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過450道，其中大約要使用50種不同種類的電子氣體。電子氣體輸送系統是指為滿足工藝制程的需求，在充分保證工藝和產品安全使用的前提下，將電子氣體從氣源端無二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數、穩定地輸送到工藝生產設備的用氣點。根據氣體性質和供應包裝的不同，一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。
中國是世界電子產品的制造中心，全球有過半以上的各類電子產品由中國大陸生產制造，與之不對稱的是制造這些產品所需要的高檔芯片幾乎全部依賴進口，最近幾年其進口值超過原油，高達2200億美元。為此，中央及地方政府相繼出臺許多利好政策及資金支持，試圖能盡快縮短差距，扭轉這種尷尬局面。
半導體晶片
半導體晶片
從2017年中開始國氣體尤其是用于IC制造的各類高純氣體、電子混合氣體發生了爆發性的發展和驚人的進步，其發展方式也同過去迥然不同，許多有影響的外資氣體公司也終于改變過去的運行方式，開始搶灘中國，以各種方式在國內開展屬地化生產。
現如今來自5G通信技術的頻繁“刷屏”，已經揭示了它將是影響時代變革的又一項偉大技術。而這一技術的發展中，電子特氣更是不可或缺的基礎性原料，無論是芯片的制造，還是超大規模集成電路的制造，都需要它來保駕護航。目前，全球信息產業高速發展，5G也成了各國競相爭奪的又一標的，而中國電子氣體的發展對我國半導體芯片產業的發展起著至關重要的作用，也直接關系到國民經濟發展和國家戰略安全。
半導體
電子元件
另外根據我國資料顯示目前國內電子氣體發展問題具體表現為：
1、產業整體規模不大，國產化率低，企業規模小，缺乏領軍型企業，容易被受到國外大企業排擠和打壓
2、高端制造方面的新材料技術不足，技術門檻低的氣體種類大量重復建設和擴產，無序競爭現象嚴重
3、部分電子氣體企業是從大化工行業或工業氣體轉型而來，其品質意識、管理理念和安全管理水平不到位，造成個別產品質量穩定性欠佳
所以綜上所述，我國電子氣體目前還屬于電子材料發展的短板，需著力發展，因此建議：國家應落實和完善對該類企業的財稅、資金等優惠政策支持，加大財政資金、大基金和金融部門的扶持力度，引導集成電路廠家使用國產電子氣體，從而幫助企業把握發展機遇，加快企業技術進步和做大做強；企業應努力提升技術創新和管理水平，加強質量管控，用過硬產品為客戶服務。
電子氣體
電子氣體
我國現在半導體行業與電子氣體的發展現狀：
1、中國半導體材料發展現狀
半導體材料是制造環節必不可少基礎材料，是制造環節的上游產業，同時也是整個產業鏈的上游。集成電路產業離不開材料的支撐，集成電路制造過程中需要的主要原材料有幾十種。材料的質量和供應直接影響著集成電路的質量和競爭力，因此材料產業是集成電路產業鏈中上游重要的一環。目前，集成電路制造主要材料包括硅材、掩膜、電子氣體、工藝化學品、光刻膠、拋光材料、靶材、封裝材料等。我國晶圓制造電子材料在2016年市場總額達343.03億，較2015年增長6.9%，預計2017年將達359.36億元。
2、中國電子氣體發展現狀
中國電子氣體是僅次于硅片和硅基材料的第二大市場需求半導體材料，電子氣體2016年的國內市場需求為48.02億，占比14%。據全球半導體協會統計，目前常用的電子氣體純氣有60多種，混合氣80多種。中國電子氣體經過近10年的發展，國內涌現了一些生產質量穩定，能夠被半導體客戶接受的電子氣生產企業，但是，與巨大的、快速發展的國內需求相比還遠遠不夠，據業內不完全數據統計，從2012年至2016年，國內電子氣體企業實際生產銷售額占中國晶圓制造電子氣市場需求由3.8%增加至25.0%，預計2017年將增加至28.4%，雖然有了較大的發展和進步，但國內電子氣體企業生產總量遠遠滿足不了國內市場需求。
半導體板件
半導體板件
國外電子氣體企業多為大型跨國公司，具有較強的實力和技術積淀，業務涵蓋范圍較寬，可以同時為企業打包提供很多氣體服務，具有很強競爭力。國內電子氣體生產企業與國外大公司相比有較大差距，有著巨大的發展空間。
總之，中國電子氣體產業目前仍處于發展的初級階段，總體產業規模較小，個別企業實力不足，而此時中國半導體產業從之前的千億扶持計劃，到中國制造2025，恰逢新興增長點的孕育崛起期，因此中國電子氣體產業面臨著前所未有的發展機遇。希望各電子氣體企業加快前瞻布局，加強技術創新，加速應用推廣，積極發展壯大；也希望各主管部門、投資單位、半導體企業都能夠高度重視，為完善我國集成電路材料和零部件產業鏈和半導體發展做出新的更大貢獻。
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