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氮氫混合氣在電子器件中的應用

 所屬分類：行業資訊    發布時間： 2022-06-24    瀏覽次數：694
氮氫混合氣在電子器件中的應用高純氣體廣泛用于電子器件生產工藝中。按工藝中高純度氣體的不同用途，可將其分為保護氣、反應氣和載氣

用作保護氣的有氫氣、氮氣、氧氣及其混合氣。在國內為獲取氫氣和氨氣，為獲得較高純度的氫氣，一般都采用電解純水的方法制取。這種方法需用大量電能來電解水，一般達4.5~5.5kWh/Nm3H2，致使成本很高。